全面布局 北方華創(chuàng )帶您領(lǐng)略民族半導體裝備的科技之美

    備受矚目的SEMICON China2018展覽于2018年3月14日在上海新國際博覽中心如期盛大開(kāi)幕，北京華創(chuàng )再次重磅亮相，全面展示為集成電路、先進(jìn)封裝、半導體照明、功率半導體、微機電系統、化合物半導體、平板顯示及新能源光伏等尖端領(lǐng)域量身定做的Etch、PVD、CVD、Furnace、WetClean、MFC等高端半導體工藝裝備及核心零部件的解決方案。

    其中，在集成電路芯片制造領(lǐng)域，北方華創(chuàng )微電子擁有刻蝕機、PVD、單片退火設備、氧化爐、退火爐、LPCVD以及清洗機七類(lèi)產(chǎn)品。經(jīng)過(guò)十七年的不懈努力，這些產(chǎn)品已經(jīng)全面在中國最主流的幾家集成電路芯片廠(chǎng)穩定量產(chǎn)。其中，由北方華創(chuàng )自主研發(fā)的應用于14nm先進(jìn)制程的等離子硅刻蝕機、Hardmask PVD、Al-PadPVD、ALD、單片退火系統、LPCVD已正式進(jìn)入集成電路主流代工廠(chǎng)；HardmaskPVD、Al Pad PVD設備成功進(jìn)入國際供應鏈體系；12寸65/55nm清洗機單機累計流片量已突破120萬(wàn)片大關(guān)；深硅刻蝕設備也已成功進(jìn)入東南亞市場(chǎng)。此外，應用于28nm的HardmaskPVD系統工藝設備、應用于28/40nm的單片退火設備、應用于55nm的硅刻蝕機均被國內領(lǐng)軍集成電路芯片制造企業(yè)指定為Baseline機臺。應用于薄膜/厚膜硅外延的APCVD系統能滿(mǎn)足外延廠(chǎng)和芯片廠(chǎng)的差異化需求，連續兩年斬獲客戶(hù)大批量訂單，不僅填補國內空白，更獲得客戶(hù)和市場(chǎng)一致認可，實(shí)現了中國半導體裝備制造技術(shù)一個(gè)又一個(gè)里程碑式的跨越。

    在先進(jìn)封裝領(lǐng)域，北方華創(chuàng )微電子的等離子刻蝕機，PVD和Descum等設備已得到全面應用，如WLCSP，TSV，Copperpillarbump，Goldbump等。在CISWLCSP應用中，北方華創(chuàng )微電子的PVD是世界第一條12寸生產(chǎn)線(xiàn)baseline機臺，憑借穩定優(yōu)異的表現，持續獲得重復訂單，并助力客戶(hù)不斷取得高端客戶(hù)訂單。在近幾年的新增市場(chǎng)中，北方華創(chuàng )TSV刻蝕機在大陸地區以絕對優(yōu)勢，保持著(zhù)較大的市場(chǎng)占有率。Copper Pillar Bump方面，PVD設備已進(jìn)入大陸前兩大封測廠(chǎng)生產(chǎn)線(xiàn)，Descum設備也已獲得前兩大封測廠(chǎng)的重復訂單；Gold Bump方面，北方華創(chuàng )的PVD設備在大陸主要金凸塊封測廠(chǎng)均實(shí)現銷(xiāo)售。隨著(zhù)先進(jìn)封裝技術(shù)向高密度和高集成度發(fā)展，將更多的使用到通孔技術(shù)和重布線(xiàn)技術(shù)，意味著(zhù)有更多的等離子刻蝕和PVD設備需求，這一趨勢與北方華創(chuàng )微電子的核心優(yōu)勢產(chǎn)品高度吻合，北方華創(chuàng )微電子將持續在該領(lǐng)域提供更新的技術(shù)，以及更加優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品和服務(wù)。

    在LED領(lǐng)域，ELEDE系列刻蝕機自2010年面市以來(lái)安裝量已經(jīng)突破三百臺，其中380G系列刻蝕機在2014～2017年的新增市占率均達到90%以上，切實(shí)成為了行業(yè)標桿機型，是國內各大芯片企業(yè)擴產(chǎn)的首選產(chǎn)品。北方華創(chuàng )自主研發(fā)的AlN濺射設備自開(kāi)發(fā)以來(lái)，引領(lǐng)LED最新技術(shù)發(fā)展趨勢，幫助客戶(hù)節省外延產(chǎn)能且有效提升芯片發(fā)光亮度和良率等各項指標，已成為L(cháng)ED不可或缺的制程設備，更是大量獲得了美國和臺灣地區的重復訂單，截止2017年底銷(xiāo)量已突破百臺。而同樣面向LED芯片制造的EPEE550系列PECVD，受到全行業(yè)高度認可，市場(chǎng)占有率穩居市場(chǎng)首位。2017年，LED領(lǐng)域三類(lèi)設備的市場(chǎng)占有率穩居全球第一。北方華創(chuàng )微電子在LED領(lǐng)域已樹(shù)立起引領(lǐng)行業(yè)方向的大旗，產(chǎn)品性能優(yōu)越，全面趕超各類(lèi)進(jìn)口設備，不斷提升服務(wù)、完善技術(shù)解決方案，堅持以客戶(hù)為中心，持續不斷的創(chuàng )新發(fā)展，力爭為行業(yè)發(fā)展做出更大的貢獻！

    面向目前高速增長(cháng)的MEMS及新興市場(chǎng)，北方華創(chuàng )微電子用于MEMS芯片制造的深硅刻蝕設備以及通用硅刻蝕設備，已批量銷(xiāo)往多家科研機構及生產(chǎn)線(xiàn)，服務(wù)于MEMS及微納制造、光通信等多個(gè)新興領(lǐng)域，客戶(hù)安裝量超過(guò)50臺。

    在第三代半導體領(lǐng)域，北方華創(chuàng )打破傳統設備設計思路，將SiC刻蝕、GaN刻蝕、介質(zhì)刻蝕、高溫爐、LPCVD、PECVD以及PVD等關(guān)鍵制程設備發(fā)展成為行業(yè)標桿企業(yè)主流機臺，可提供第三代半導體功率器件和射頻微波器件整體解決方案。此外，公司自主開(kāi)發(fā)的臥式LPCVD設備也實(shí)現了新的應用——半導體級碳納米管的生長(cháng)，該應用已成功在客戶(hù)端上線(xiàn)。

    在新能源光伏領(lǐng)域，北方華創(chuàng )微電子研制的應用于高效光伏電池生產(chǎn)的新型負壓擴散爐銷(xiāo)量穩居國內前列，暢銷(xiāo)海內外；其大產(chǎn)能PECVD，順利獲得海外客戶(hù)訂單；應用于新能源光伏領(lǐng)域的全自動(dòng)多晶黑硅制絨機、在線(xiàn)濕法刻蝕清洗機、在線(xiàn)濕法制絨機、臥式氧化擴散爐、PECVD等設備均已實(shí)現進(jìn)口替代。

    在平板顯示領(lǐng)域，作為國內首家進(jìn)入TFT-LCD生產(chǎn)線(xiàn)的設備提供商，公司自主研發(fā)的GrindCleaner、Indexer等設備均在國內市場(chǎng)占據重要份額，所提供的各類(lèi)設備在客戶(hù)端的5代線(xiàn)、6代線(xiàn)、8.5代、10.5代線(xiàn)以及OLED生產(chǎn)線(xiàn)批量穩定生產(chǎn)，此外公司新增的環(huán)保類(lèi)設備也已成功進(jìn)入京東方各世代生產(chǎn)線(xiàn)，為客戶(hù)創(chuàng )造經(jīng)濟效益。

    此外，北方華創(chuàng )微電子在氣體流量測量和控制方面擁有多項關(guān)鍵技術(shù)優(yōu)勢，MFC產(chǎn)品行銷(xiāo)歐美，在國內市場(chǎng)中長(cháng)期占據第一品牌的行業(yè)地位，從2010年至今已累計銷(xiāo)售突破20萬(wàn)臺。

    值得一提的是，北方華創(chuàng )于2018年1月順利完成對美國Akrion System LLC公司的收購，該公司作為清洗機的設備商，擁有全球唯一的兆聲波異性換能器制造、實(shí)驗及標定平臺實(shí)驗室。整合后的清洗業(yè)務(wù)包括單片清洗和批式清洗兩大產(chǎn)品線(xiàn)，覆蓋工藝種類(lèi)進(jìn)一步增多，包括PreFilm Deposition Clean，PR Strip，Backside Clean，Wafer Reclaim，PostEtch Clean，SiN/Oxide Etch，Post Metal Deposition Clean和Al Pad Clean等關(guān)鍵清洗工藝，有力提升了北方華創(chuàng )微電子清洗設備業(yè)務(wù)的整體市場(chǎng)競爭力。

    產(chǎn)業(yè)風(fēng)口，政策支持，資金充足，市場(chǎng)活躍。在2016年，北方微電子和七星華創(chuàng )把握時(shí)代機遇，不負振興重任，順利完成企業(yè)重組。優(yōu)勢互補，再次啟程，旨在打造中國最大的半導體裝備產(chǎn)業(yè)平臺，這是精良品質(zhì)和卓越服務(wù)最佳明證，也是作為一個(gè)為全球半導體制造用戶(hù)提供極具競爭力的半導體制造裝備和先進(jìn)制程解決方案的國際品牌的堅定一步。2018年1月，北方華創(chuàng )微電子實(shí)現了對美國Akrion公司的收購，使得北方華創(chuàng )微電子有能力更好地為全球范圍的客戶(hù)提供全面的清洗工藝設備解決方案。

    北方華創(chuàng )微電子將繼續以“創(chuàng )造精良，打造民族自尊”為己任，發(fā)揚“精良品質(zhì)·卓越服務(wù)·中國制造”的企業(yè)精神，以高端微電子工藝裝備領(lǐng)軍企業(yè)的姿態(tài)登上世界舞臺，深耕發(fā)展，引領(lǐng)未來(lái)，堅持以客戶(hù)需求為導向的持續創(chuàng )新，助推產(chǎn)業(yè)技術(shù)進(jìn)步，帶給產(chǎn)業(yè)無(wú)限可能。

    上海新國際博覽中心，N3館3339展位，期待與您相遇，共享行業(yè)盛典。