北方華創(chuàng )Al Pad PVD成功進(jìn)駐上海集成電路研發(fā)中心

    2018年3月13日，北方華創(chuàng )再傳捷報，由北方華創(chuàng )下屬子公司北方華創(chuàng )微電子自主開(kāi)發(fā)的AlPadPVD成功進(jìn)駐上海集成電路研發(fā)中心。

    北方華創(chuàng )微電子AlPadPVD設備主要應用于90-14nm技術(shù)節點(diǎn)的BondPad和AlInterconnect工藝，設備突破了大產(chǎn)能傳輸平臺、高溫靜電卡盤(pán)、先進(jìn)磁控濺射源等一系列關(guān)鍵技術(shù)，解決了厚鋁粘片、晶須缺陷等世界性技術(shù)難題，設備綜合性能達到國際領(lǐng)先水平，得到業(yè)內廣泛認可?？蛻?hù)遍及Logic、DRAM、Norflash、3DNAND、FPD等領(lǐng)域，并且已成為多家集成電路制造企業(yè)的Baseline設備。AlPadPVD設備良好的用戶(hù)口碑和客戶(hù)端穩定量產(chǎn)的卓越表現，為其贏(yíng)得了國內外知名廠(chǎng)商的肯定和好評。同時(shí)，該設備也憑借優(yōu)異的機臺表現和廣泛的市場(chǎng)認可榮獲了首屆集成電路產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟創(chuàng )新獎。